suspension; SnO_2; laser-plasma; cotton-cake like target; particle-cluster; conversion efficiency; multi kHz; long continuous operation;
机译:高功率LPP-EUV源具有长集电极镜终型的半导体高卷制造
机译:大功率LPP-EUV源具有长的收集器镜寿命,可用于半导体大批量生产
机译:带有液滴靶的激光产生的锡等离子体碎屑的EUV光源成像诊断
机译:使用包含锡的悬浮液液滴作为高效率LPP源的目标来产生EUV以进行大量生产
机译:EUV光刻专用的锡掺杂微滴激光等离子体光源的辐射研究。
机译:通过双亲表面浸涂产生微滴阵列;夹带液滴体积对抽出速度的依赖性
机译:高功率LPP-EUV源,具有长集电极镜终型半导体高卷制造