EUV sources; gas discharge produced plasma; Z-pinch; rotating disc electrode; xenon; tin; EUV lithography;
机译:大量生产要求推动了EUV来源的发展
机译:将EUV光刻技术应用于2X DRAM及其以后的工艺,IC制造商的EUV抗蚀剂现状和工艺开发
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机译:用于Beta工具和大批量芯片制造工具的EUV来源的开发状况
机译:明亮相干超快速桌面光源的开发以及EUV在软X射线吸收光谱学中的应用。
机译:HIV临床医生如何在大量资源匮乏的诊所中忠实地管理PHQ-9抑郁症筛查工具?马拉维抑郁症治疗整合项目的结果
机译:用于大批量生产EUV光刻的光源:技术,性能和功率缩放