strong phase shift masks; contact holes; OPC accuracy; full chip application; real layout; design rules;
机译:在1.35数值孔径下对45 nm节点接触孔进行反光刻
机译:水烫,表面接触超声辅助空气干燥的应用,以及它们对白卷心菜脱水的组合:干燥机理,生物活性谱,颜色和再水合性能
机译:为未来的DRAM技术节点集成了替代性接触清洗技术
机译:ALTPSM在DRAM 4xNM节点的ALTPSM接触孔应用,带有干燥的193nm光刻
机译:粗糙,多层弹性-塑料固体表面干/湿接触力学的三维数值模型以及分离过程中的亲水性/疏水性影响
机译:使用牺牲性纳米颗粒消除散粒噪声的影响电子束光刻制造的接触孔中的孔
机译:在193nm处的应用结果:航拍成像和辅助高分辨率测量的光刻模拟