linewidth; calibration; LER; measurement uncertainty; traceability; metrology; LWR; CD-AFM; SCCDRM;
机译:具有纳米不确定性的临界尺寸原子力显微镜线宽测量的可溯源校准
机译:铂电阻测温法:校准不确定度和测量不确定度之间的概念差异
机译:技术说明:最大限度地减少圆柱形孔式电离室测量的几何不确定性:有最佳腔室长度
机译:基于最小化测量不确定性的通用射频网络分析仪自适应校准方案
机译:多轴,结构光,三维激光扫描系统:建模,校准和测量不确定度评估
机译:评估和最小化ITC绑定测量的不确定性
机译:改进的校准和测量不确定度估计,用于稳定的碳同位素比测量,可检测类固醇滥用
机译:标准参考材料:抗反射 - 铬线宽标准sRm473,用于校准光学显微镜线宽测量系统