polysilicon; stiction; contact angle; surface micromachining;
机译:多晶硅表面微加工皮瓣的不对称表面粗糙度测量和弯月面建模
机译:多晶硅表面微加工皮瓣的不对称表面粗糙度测量和弯月面建模
机译:表面涂层的表面张力特性,用于在通过接触角测量确定的生物仿轧制中的应用
机译:用于表面微机械加工应用的多晶硅接触角测量
机译:开发了使用无滴落设备直接测量集料和沥青粘合剂表面接触角的测试规程。
机译:探查稀土矿物的表面特征使用接触角测量原子力显微镜和反向气相色谱法
机译:5级多晶硅表面微机械技术:应用于复杂的机械系统
机译:微设备的宏设计:多晶硅表面微加工技术,应用和问题