Gridless Model; Detailed Routing; Double Patterning;
机译:自对准双图案光刻技术,带有颜色预分配的详细布线
机译:使用切割工艺的自对准双图案光刻技术的叠加感知详细布线
机译:双模式平版印刷中双峰CD分布的时序收益率颜色重新分配和详细放置扰动
机译:具有创新冲突图的双图案化光刻感知无网格详细布线
机译:多层通用区域无网格详细路由。
机译:梯度图案化表面上无光刻的高χ嵌段共聚物分层结构路线
机译:TRIaD:三重图案光刻感知详细路由器
机译:无掩模光刻和非传统图案的创新技术