directed self-assembly; chemo-epitaxy; block copolymers; immersion 193i lithography; sidewall image transfer;
机译:用193nm浸没式光刻成像干涉光刻和偶极子照明对45nm半节距节点进行仿真
机译:用193nm浸没式光刻成像干涉光刻和偶极子照明对45nm半节距节点进行仿真
机译:193nm浸没式光刻胶中抗蚀剂组分界面传质的研究与控制
机译:朝32-nm节点193-nm浸没式光刻工艺双图案化的材料和工艺的开发
机译:通过气相甲硅烷基化对193 nm光刻进行顶表面成像
机译:使用图像处理系统在浸水比重计校准过程中测量刻度标记的对齐
机译:193-NM浸入光刻中的气泡诱导光散射效应对图像质量的研究