nanosheet; scatterometry; x-ray fluorescence; metrology; machine learning;
机译:XPS纳米特征在高级CMOS技术中对薄SiGe通道层工艺开发和工业控制的好处
机译:蛋白质组学在食品技术和食品生物技术中的应用:工艺开发,质量控制和产品安全。 (特刊:献给弗拉基米尔·马里克教授。)
机译:蛋白质组学在食品技术和食品生物技术中的应用:工艺开发,质量控制和产品安全
机译:堆叠纳米线/纳米电池GAA MOSFET从技术到设计启用
机译:近红外光谱(NIRS)作为过程分析技术(PAT)工具,使用新型MIDUS控制自动化平台实现黄金批处理性能
机译:栅堆叠结构和工艺缺陷对32 nm工艺节点PMOSFET中NBTI可靠性的高k介电依赖性的影响
机译:设计在多重模式中的作用:技术开发,设计支持和过程控制