Micro Array Thermal Actuator; Elevating Structure; Micro Optical Devices; CMOS-MEMS;
机译:纳米结构微光学器件中的形式双折射
机译:纳米结构微光学器件中的形式双折射
机译:使用CMOS-MEMS工艺制造的基于双光束的红外设备
机译:CMOS-MEMS过程升高微光学装置的跷跷板结构研究
机译:氮化铝镓/氮化镓器件结构的研究和表征,以及材料缺陷和工艺对器件性能的影响。
机译:CMOS-MEMS / NEMS器件开发专刊社论
机译:热声装置内部结构中流体流动和传热过程的数值研究
机译:可调谐微光学器件微机电结构的设计与制作