Ultra-precision stage control based on friction model of non-resonant ultrasonic motor

机译：基于非谐振超声波电动机摩擦模型的超精密级控制

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This paper presents a friction model-based ultra-precision stage control that introduces the non-resonant ultrasonic motor (NRUSM). At first, the friction characteristic is experimentally evaluated as a function of the stage position. Next, the friction model is adopted for the proposed continuous-pass tracking control design, and then the efficiency of the model-based control is verified by positioning experiments. Finally, measuring the time variation of the static friction characteristics, the on-line identification method for the control system is proposed.

机译：本文介绍了一种基于摩擦模型的超精密阶段控制，引入了非谐振超声波电机（NRUSM）。首先，将摩擦特性作为阶段位置的函数进行实验评估。接下来，采用摩擦模型来采用所提出的连续通行跟踪控制设计，然后通过定位实验验证基于模型的控制的效率。最后，测量静态摩擦特性的时间变化，提出了控制系统的在线识别方法。

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来源
《International Workshop on Advanced Motion Control》|2004年||共6页
会议地点
作者
Hashimoto S.; Ohishi K.; Ohishi T.; Ishikawa T.; Kosaka K.; Egashira Y.; Kubota H.; Ohmi T.;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TP273-53;
关键词
ultrasonic motors; position control; PI control; stiction; control system synthesis; ultra precision stage control; friction model; nonresonant ultrasonic motor; continuous pass tracking control design; model based control; static friction characteristics; online identification method;

机译：超声波电机;位置控制;PI控制;静止;控制系统合成;超精密阶段控制;摩擦模型;非族化超声波电机;连续通过跟踪控制设计;基于模型的控制;静态摩擦特性;在线识别方法;在线识别方法;在线识别方法;在线识别方法;
入库时间 2022-08-20 20:53:21

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