MEMS; parasitic extraction; electrostatic analysis; pressure sensor;
机译:通过MEMS装置的机械驱动来加速测试的方法
机译:关于静电NEMS / MEMS器件的可靠性:综述有关介电电荷和静摩擦的失效机理以及新颖的表征方法的知识
机译:2015年5月4日至6日在西班牙巴塞罗那举行的SPIE EUROPE“ MICROTECHNOLOGIES”研讨会上的“智能传感器,执行器和MEMS”,“网络物理系统”以及“生物MEMS和医疗微设备”会议的特刊
机译:具有有源器件的MEMS传感器的寄生提取方法
机译:千兆位光网络接口卡的设计和布局方法,用于大型调制器和MEMs设备阵列中的高压驱动器。
机译:利用扩展的Euler-Bernoulli束理论自动提取ScAlN MEMS器件的参数
机译:使用寄生萃取建模氮化镓功率器件的RF方法