Band-pass filters; Resonator filters; Microwave filters; Filtering theory; Micromechanical devices; Cavity resonators; Silicon;
机译:基于MEMS技术的硅微流体通道中纳米过滤器的设计,制造和表征。
机译:基于SiO2 / Si3N4介电分布布拉格反射器的UV带通滤光片的设计与制造
机译:用于紫外可见气隙的MEMS光学滤光片的超薄氮化硅膜的设计和制造
机译:基于MEMS技术的硅腔带通滤波器的设计与制造
机译:在长波长红外区域中基于MEMS的可调谐法布里 - 珀罗干涉仪滤波器的设计,仿真,制造和表征
机译:高k材料中基于π多层技术的远紫外滤光片的设计与制造
机译:基于RF-mEms超材料的可调谐带通滤波器建模
机译:用于弹丸弹药的先进的基于mEms的安全和装备机制的材料,制造和装配技术;会议文件