carbon; elemental semiconductors; gallium compounds; III-V semiconductors; impurity distribution; ion implantation; magnesium; MOCVD; secondary ion mass spectra; semiconductor epitaxial layers; semiconductor growth; silicon; wide band gap semiconductors;
机译:立方离子卤化银微晶溅射过程的建模及其与二次离子质谱分析(SIMS)在深度分析中的相关性
机译:使用GaN p-n结外延层形成的传输线模型图案确定p-GaN中非本征光子再循环的横向扩展
机译:Ge / Si多层SIMS深度剖析中层厚度的预测和实验确定:优先溅射和原子混合的影响
机译:Si,Mg和C离子植入GaN外延层的SIMS深度分析中二次离子产率的测定
机译:利用SIMS开发超浅掺杂植入物的高分辨率深度剖析。
机译:接近无应变的GaN兼容缓冲层上GaN外延层中的超低穿线位错密度及其在异质外延LED中的应用
机译:硅注入对外延GaN层的损害