Direct-write e-beam lithography; gratings; DFB laser;
机译:由电子束光刻制造的光栅耦合器,用于嵌入含氟聚合物中的远程表面等离子体波导
机译:通过电子束光刻和剥离方法在半导体衬底上制造的亚波长光栅
机译:通过电子束光刻制造的高性能衍射光栅
机译:用于直接写电子束光刻制造的DFB激光器的高性能光栅
机译:通过液相外延生长的铌酸锂薄膜中的直接写入电子束亚微米域工程。
机译:电子束光刻技术制作的单模锥形垂直SU-8波导用于分析物传感
机译:通过直接写电子束光刻技术制备的亚微米调制掺杂场效应晶体管/金属半导体基光电子集成电路接收器