机译:高性能n沟道多晶锗薄膜晶体管,通过连续波激光结晶和绿色纳秒激光退火来激活源极和漏极掺杂剂
机译:高性能N沟道多晶锗薄膜晶体管通过连续波激光结晶和绿色纳秒激光退火源和排水掺杂剂活化
机译:感受器辅助微波退火,用于砷注入硅的重结晶和掺杂剂活化
机译:使用308nm纳秒激光退火的砷植入超薄硅式绝缘结构中的掺杂剂活化和晶体回收
机译:硅结构的脉冲激光退火,用于结晶和掺杂剂激活。
机译:绝缘体上硅上的超紧凑型自下而上的光子晶体激光器
机译:高性能N沟道多晶锗薄膜晶体管通过连续波激光结晶和绿色纳秒激光退火源和排水掺杂剂活化