机译:基于MEMS加速度计和振动熵的无线轨道紧固件松动检测
机译:通过优化的MEMS压电加速度计检测中耳听骨链振动
机译:通过优化的MEMS压电加速度计通过优化的MEMS形状振动振动检测
机译:利用MEMS加速度计的震动集成检测系统的开发。
机译:DRIE CMOS-MEMS工艺和集成加速度计的开发。
机译:用于高g微机电系统(MEMS)加速度计的动态线性测量的双头冲击系统的开发
机译:以MEMS加速度计为传感器的倾斜和振动测量与检测系统的开发TK7875。 K45 2008 f rb。