Relative humidity; Absolute humidity; Humidity sensor; Temperature control; Polyamide; CMOS;
机译:使用CMOS-MEMS技术在芯片上集成了微加热器和反相放大器电路的纳米线WO_3湿度传感器
机译:集成有微加热器和采用CMOS-MEMS技术制造的环形振荡器电路的电容式湿度传感器
机译:集成微加热器和温度微传感器在硅上成核池沸腾过程中人造腔之间的成核位置相互作用
机译:具有温度控制器和加热器的电容湿度微传感器集成在CMOS技术中
机译:具有用于滤波器和温度传感器应用的嵌入式加热器的CMOS-MEMS新型谐振器的设计,制造和表征。
机译:采用片上印刷技术的低功耗集成湿度CMOS传感器
机译:带有人造空腔,集成温度微传感器和加热器的硅上FC-72的实验池沸腾研究