femtosecond laser; micro-nano manufacturing; 3D solenoid microchannel; silica glass; wet etching; electrothermal micro actuators;
机译:飞秒激光微加工在玻璃内部制造3D微流体结构
机译:飞秒激光3D微加工:一种用于制造基于玻璃的微流体,光流体和电流体设备的强大工具
机译:飞秒激光微加工在光敏玻璃中制造3D微光学透镜
机译:Femtosecond激光湿法蚀刻和微杀菌在二氧化硅玻璃中3D电热微型执行器的制造
机译:使用准分子激光(248 nm)对硼硅酸盐玻璃进行微加工,并通过激光诱导对石英进行背面湿蚀刻。
机译:使用飞秒激光材料加工在硼硅酸盐玻璃中的3D多深度储存器微模的制造
机译:校正:使用水辅助飞秒激光制造的垂直侧壁电极整合到3D玻璃微流体芯片中,用于原位控制ElectrAlis
机译:利用飞秒激光工艺和化学蚀刻在光敏玻璃上制备微结构