comb-drive; electrostatic gimbaled-mirror scanner; self-aligned micro-assembly; tilted stationary vertical combs;
机译:具有自对准倾斜固定梳子的两轴静电万向节镜扫描仪
机译:一种无万向节的两轴静电扫描仪,带有倾斜的固定垂直梳子,并通过微装配工艺串联弹簧
机译:由自对准垂直静电梳状驱动器驱动的高填充因子两轴常平架倾斜活塞微镜阵列
机译:通过自对准微组件制造的带有倾斜的固定垂直梳齿的静电两轴万向平衡镜扫描仪
机译:用于内窥镜超高分辨率光学相干断层成像的表面和整体微机械加工二维角垂直梳状致动器扫描仪
机译:用于二维光栅扫描的静电梳理MEMS扫描镜的开发
机译:双轴倾斜单镜激光扫描仪产生的光束路径失真分布