首页> 外文会议>IEEE International Conference on Nanotechnology >Selective etching of InP in InAs/InP nanowires resulting in 11 nm nanogaps
【24h】

Selective etching of InP in InAs/InP nanowires resulting in 11 nm nanogaps

机译:InAs / InP纳米线中InP的选择性蚀刻,产生11 nm的纳米间隙

获取原文

摘要

We demonstrate a wet chemical method to selectively etch InP segments within InAs/InP heterostructure nanowires based on a photo-assisted HAc/HBr solution etching process. We successfully etched InP segments ranging from 60 nm down to about 10 nm in size.
机译:我们展示了一种湿化学方法,可基于光辅助HAc / HBr溶液蚀刻工艺选择性蚀刻InAs / InP异质结构纳米线内的InP片段。我们成功地蚀刻了尺寸从60 nm到大约10 nm的InP片段。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号