Educational institutions; Films; Hydrogen; Plasma density; Silicon; Substrates;
机译:通过使用SiF4 / H-2化学物质的基质分布电子回旋共振等离子体沉积微晶硅薄膜增强了化学气相沉积
机译:Langmuir探针与光发射光谱在可变磁场电子回旋共振化学气相沉积过程中的比较和综合研究,该过程用于沉积氢化非晶硅薄膜
机译:电子回旋共振化学气相沉积法制备薄膜的无定形至微晶相变研究
机译:使用电子回旋共振化学沉积法生长氢化微晶硅薄膜
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:N2:(N2 + CH4)比在低温等离子体增强化学气相沉积法生长疏水纳米结构氢化氮化碳薄膜中的作用研究
机译:矩阵分布电子回旋共振等离子体高速沉积微晶硅薄膜和太阳能电池的工艺和材料挑战
机译:电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积法研究氮等离子体不稳定性及氮化硅的生长