Flexible, zero powered, piezoelectric MEMS pressure sensor arrays for fish-like passive underwater sensing in marine vehicles

机译：灵活的零功率压电压电MEMS压力传感器阵列，用于船用车辆中的鱼状被动水下传感

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In an effort to improve the situational awareness of maritime vehicles, flexible MEMS pressure sensor arrays are developed for underwater sensing applications. This paper outlines the development of piezoelectric microdiaphragm pressure sensor arrays that can perform a passive fish-like underwater sensing. Individual sensors have a low footprint of 1.8 × 1.8 mm² and do not require any power for their operation. An array of 2 by 5 sensors is fabricated, packaged and tested for use on marine vehicle. The proposed array is capable of locating underwater objects by transducing the pressure variations generated by the stimulus.

机译：为了提高海上航行器的态势感知能力，开发了适用于水下传感应用的柔性MEMS压力传感器阵列。本文概述了压电微隔膜压力传感器阵列的发展，该阵列可以执行类似鱼的水下水下传感。单个传感器的占地面积很小，仅为1.8×1.8 mm ^{2 ，并且不需要任何电源即可运行。制作，包装并测试了2 x 5传感器阵列，可用于航海车辆。所提出的阵列能够通过转换由刺激产生的压力变化来定位水下物体。}

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来源
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》|2013年|p.126-129|共4页
会议地点
作者
Asadnia M.; Kottapalli A.G.P.; Shen Z.; Miao J.M.; Barbastathis G.; Triantafyllou M.S.;
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中图分类 TP271.4;TP271.4;
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