oxidation; diffusion; partial differential equations; semiconductor process modelling; digital simulation; thermal oxidation; diffusion processes; parallel PDE solver; L/sub i/SS; three-dimensional process simulation; optimal order solution method;
机译:并行多网格求解器,用于模拟热氧化和扩散过程
机译:用于解决电化学过程的数字模拟,涉及扩散系数随浓度线性变化的过程
机译:图形算法的并行组装与方程求解及其在金属挤压过程有限元模拟中的应用
机译:通过并行PDE求解器L / sub i / SS模拟热氧化和扩散过程
机译:数学金融中的波动率模型:可解决的扩散,转移概率核和分数阶随机过程
机译:SDA 7:扩散关联软件仿真的模块化和并行实现
机译:扩散过程的并行处理仿真中的时间缩放