DC magnetron sputtering; XRD; ZnO thin films; working pressure;
机译:衬底温度对直流磁控溅射制备ZnO和Al掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能的影响
机译:沉积温度对脉冲直流磁控溅射制备的薄膜太阳能电池透明电极Al掺杂ZnO薄膜性能的影响
机译:用纯金属Zn靶法制备ZnO薄膜制备的ZnO薄膜结构与性能的比较研究和ZnO陶瓷靶
机译:直流磁控溅射制备ZnO薄膜的性能研究
机译:使用不平衡磁控溅射制造适用于薄膜晶体管的掺镓ZNO薄膜。
机译:射频磁控溅射制备(MgAl)共掺杂ZnO薄膜的光电性能研究与研究
机译:由RF磁控溅射制备的(Mg,Al)共掺杂ZnO薄膜的光学和电性能的加工和研究光伏应用