AlN; SAW; diamond; high-frequency; sputtering;
机译:用于高频SAW谐振器的金刚石基板上的AlN薄层的优化
机译:射频溅射胶片堆积声谐振器应用AlN薄膜的制备
机译:磁控溅射在不同金刚石基底上形核的AlN晶粒取向
机译:高频SAW谐振器在金刚石基板上的AlN溅射优化
机译:高频声表面波谐振器的设计,仿真和优化及其在化学气体传感器中的应用
机译:溅射AlN:Er薄膜的基底温度相关特性用于Al / AlN多层涂层健康的原位发光传感
机译:高频SAW谐振器在金刚石基板上的AlN溅射优化
机译:基体组成对反应溅射alN薄膜压电响应的影响;薄固体薄膜