Annealing process; CVD silicon oxide; MEMS; Microheater; TMAH;
机译:在TMAH溶液中蚀刻的图案化硅基板的形貌和晶体学演变
机译:在各种环境气体条件下,TMAH溶液中多晶硅的湿蚀刻速率行为
机译:异丙醇对KOH和TMAH溶液中(100)Si表面蚀刻速率和粗糙度的影响
机译:低温氧化物对微自行式应用蚀刻速率的研究
机译:纳米颗粒作为反应性前体:通过低温退火和转化化学合成合金,金属间化合物和多金属氧化物。
机译:固溶钙钛矿太阳能电池固溶TiO2电子传输层的低温退火工艺研究
机译:准分子激光退火对低温溶液基氧化铟薄膜晶体管制备的影响