MEMS; Anodic bonding; Piezoresistive pressure sensor; Harsh environments;
机译:基于硅玻璃的单压阻式压力传感器,适用于恶劣环境应用
机译:用于苛刻环境应用的多晶硅 - 绝缘体(PolysoI)和基于SOI的微压阻压力传感器的制造与表征
机译:基于MEMS的恶劣环境压阻压力传感器的灵敏度优化
机译:基于Si-Glass的压力传感器,具有单个压阻元件,适用于恶劣的环境应用
机译:用于恶劣环境应用的不锈钢电容式压力传感器。
机译:先进的无液压阻基于SOI的压力传感器用于恶劣环境下的测量
机译:基于硅玻璃的单压阻式压力传感器,适用于恶劣环境应用