amorphous silicon; disilane; ellipsometry; phase diagrams;
机译:实时椭圆偏振光谱法研究非晶硅,原晶硅和微晶硅中的微观结构和相的演变
机译:实时椭圆偏振光谱和红外光谱研究a-Si:H薄膜生长中的界面层形成机理
机译:交替沉积硅和氢等离子体处理制备的非晶态和微晶态硅薄膜的生长的实时光谱分析
机译:实时光谱椭偏仪研究了用SiH4 + Si2H6制备的Si:H的生长演化
机译:薄膜-锗-氢的生长和相演化的实时光谱椭圆偏光法
机译:第一阶段CuIn1-xGaxSe2生长的实时光谱椭偏分析:铟镓硒共蒸发
机译:通过光谱椭偏仪,红外光谱和二次谐波生成实时研究α-si:H / c-si异质界面的形成和外延si生长