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【24h】

Zinc Oxide Film Growth Using High-Energy H_2O Generated by a Catalytic Reaction on Pt Nanoparticles

机译:Pt纳米粒子催化反应产生的高能H_2O氧化锌薄膜的生长

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摘要

A new chemical vapor deposition (CVD) method using Pt-catalyzed exothermic H_2-O_2 reaction on Pt nanoparticles for metaloxide thin film growth has been developed. Zinc oxide (ZnO) films with excellent electrical and optical properties were grown on a-plane sapphire substrates by a reaction between zimethylzinc and high-energy H_2O generated by the H_2-O_2 reaction.
机译:开发了一种新的化学气相沉积(CVD)方法,该方法利用Pt纳米颗粒上Pt催化的放热H_2-O_2反应进行金属氧化物薄膜的生长。通过Z甲基锌与H_2-O_2反应生成的高能H_2O之间的反应,在a面蓝宝石衬底上生长了具有优异电学和光学性能的氧化锌(ZnO)膜。

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