MEMS based Optical Modulator; Opto-Acoustic Oscillator; Optomechanics; RF MEMS resonator;
机译:低压MEMS光学相位调制器和硅铟磷化铟膜上的开关
机译:基于光学Gas MQW调制器的光和电读出环形振荡器,结合到0.8 / splμ/ m硅VLSI电路
机译:硅基MEMS振荡器在体-扩展模式下的加速度敏感度
机译:光声振荡器USLNG Silicon MEMS光调制器
机译:用于无线和光通信的集成MEMS腔光机电振荡器。
机译:硅基MEMS振荡器在体-扩展模式下的加速度敏感度
机译:使用硅mEms光调制器的光声振荡器