lithium niobate; CMP; MRR; surface roughness;
机译:铌酸锂CMP室温粘接的实验分析
机译:低温键合法制备的LNOI / Si杂化晶片铌酸锂薄膜层中的残余应力
机译:使用Au microbumps的微机械硅衬底上铌酸锂薄膜的室温转移键合
机译:铌酸锂CMP室温粘结的实验分析
机译:超声应用中的高温铌酸锂=
机译:低温键合法制备的LNOI / Si杂化晶片铌酸锂薄膜层中的残余应力
机译:mg掺杂铌酸锂二阶非线性光学行为的化学键分析
机译:铌酸锂,钽酸锂,石英和二氧化碲的声表面波速度和延迟的温度系数