glass wafer; total thickness variation; flatness; haidinger interferometer;
机译:利用光学干涉仪测量玻璃板的大面积全场厚度
机译:干涉测量法测定玻璃板上福尔马夫薄膜的厚度
机译:圆柱玻璃管壁厚的干涉测量及其在排液膜中的应用
机译:玻璃晶片的干涉总厚度变化测量
机译:使用原位椭偏仪在快速热处理中测量和控制硅片温度和氧化膜厚度。
机译:精密干涉位移测量中波长变化的校正
机译:测量半导体晶片折射率和材料厚度独立值的顺序干涉技术
机译:精密干涉位移测量中波长变化的校正