chemically amplified resist; fogging effect; post exposure baking;
机译:通过CD预测模型和晶圆温度分布控制来控制Gate-CD均匀性
机译:PEB平板优化CD均匀性
机译:定向凝固高温合金叶片中控制温度梯度和S / L界面形状的非均匀厚度模具设计
机译:90nm节点CD均匀性使用受控梯度温度汽车PEB工艺改进
机译:快速热处理中的温度和过程均匀性控制。
机译:通过低温快速热退火工艺控制生长高均匀性的硒化铟(In2Se3)纳米线
机译:在运行时,改进控制RailCars卸载过程中的RailCars卸载过程的过程
机译:具有恒定横向温度梯度和均匀纵向温度分布的氩离子反应堆第二实验控制棒的变形测量