Fast Temperature Pulsing: a new technique to improve performances in micromachined semiconductor gas sensors

机译：快速温度脉冲：提高微机械半导体气体传感器性能的新技术

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A new technique to operate semiconductor oxide thin films deposited upon Si micromachined substrates is presented. The sensor heater is periodically supplied each 0.5 - 180 s, with a duty cycle of 100 ms, strongly reducing the power consumption. Furthermore, for periods up to 20 s the sensor response to CO traces in air increases.

机译：提出了一种操作沉积在硅微机械衬底上的半导体氧化物薄膜的新技术。传感器加热器每0.5到180 s周期性地供电，占空比为100 ms，大大降低了功耗。此外，在长达20 s的时间内，传感器对空气中CO痕迹的响应增加。

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来源
《Italian conference on sensors and microsystems》|1999年|129-134|共6页
会议地点
作者
G. Faglia; E.Comini; A. Cristalli; G. Sberveglieri; G. Cardinali; L. Dori;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类计算机软件;
关键词
gas sensors; tin dioxide compounds; si micromachining;

机译：气体传感器二氧化锡化合物;硅微加工;

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