MEMS; accelerometer; vibration; calibration;
机译:晶圆级真空封装的三轴加速度计,在商用MEMS工艺中具有较低的横轴灵敏度
机译:ACCINO 2-具有IMEMS加速度计和陀螺仪的微处理器测量系统,用于测试道路约束系统
机译:MEMS对流加速度计的行为模型,用于评估系统级的设计和校准策略
机译:用于MEMS加速度计灵敏度测量和校准的晶片级振动测试系统
机译:横向电容式MEMS加速度计灵敏度校准算法的开发与表征
机译:晶圆级真空封装电容式加速度计采用未经修改的商业MEMS工艺制造
机译:具有子纳米精度的晶圆平面测量系统使用加速度计取消机械振动
机译:晶圆级封装微机电系统(mEms)加速开关的非破坏性阻尼测量。