STORM: A European Platform for Sub-Micron Technology Simulation and Optimisation

机译：STORM：亚微米技术仿真和优化的欧洲平台

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Software for Technology Optimisation in Research and Manufacturing (STORM) is presented and applied to bipolar and cmos silicon technology.

机译：介绍了用于研究和制造的技术优化软件（STORM），并将其应用于双极和cmos硅技术。

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来源
《Solid State Device Research Conference, 1993. ESSDERC '93》|1993年|505-512|共8页
会议地点
作者
Jones S K; Lombardi C; Poncet A; Hill C; Jaouen H; Lorenz J; Lyden C; de Meyer K; Pelka J; Rudan M; Solmi S;
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正文语种
中图分类非金属材料;
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