inductors; solenoids; micromachining; high-frequency effects; Q-factor; micromachining; air core solenoid inductor; multiGHz applications; pyrex wafer; pitch distance; inductors radio frequency properties; Q factor; self-resonant frequency; high frequency effect; inductance; 100 micron; 200 micron; 2 GHz; 5.1 GHz; 9.7 GHz;
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