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An ultrasonically levitated non-contact sliding table with the traveling vibrations on fine-ceramic beams

机译：超声波悬浮非接触式滑动台，在细陶瓷梁上具有行进振动

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《》|2005年|P.1538-1541|共4页
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作者
Koyama; D.; Takeshi Ide; Friend; J.R.; Nakamura; K.; Ueha; S.;
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正文语种
中图分类工业技术;
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