micromechanical devices; MMIC phase shifters; micromachining; silicon; varactors; delays; etching; boron; semiconductor doping; electric potential; coplanar waveguide components; bulk micromachined distributed digital phase shifter; microwave phased array; distributed digital MEMS; microwave phase shifter; distributed nonlinear transmission line technique; single crystal silicon etching; multilayer microbridge structure; loading varactors; true time delay; micromachining process flow; anodic bonding; boron doping; microbridges; coplanar waveguide; electrostatic voltage; CPW ground plane; 5 to 20.5 GHz; 12 dB; 3.87 dB; Si:B;
机译:BiFeO_3和Bi_4Ti_3O_12在铁电存储器,相控相移和微波HEMT中的应用
机译:微波应用移相器被选作无源电子扫描阵列雷达
机译:一种使用铁电体和体相移的新型相控阵天线
机译:用于微波相控阵应用的散装微机械分布式数字移位器
机译:激光照射下微波MESFET电路的特性:在相控阵雷达,微波通信和数字时钟控制中的应用。
机译:用于扫频OCT成像的微机械相移阵列型Mirau干涉仪:设计微加工和实验验证
机译:泰勒加权,数字移相器和数字衰减器在相控阵天线中的应用。
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