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Micromachined low-finesse fabry-perot interferometer for the measurement of low DC electrical currents

机译：微加工的低精微法布里-珀罗干涉仪，用于测量低直流电流

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来源
《》|2002年|P.561-564|共4页
会议地点
作者
Heredero; R.L.; Santos; J.L.; Fernandez de Caleya; R.;
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正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术;
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