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Growth and characterization of 200 kG multicrystalline silicon ingots by HEM

机译:用HEM法生长和表征200 kG多晶硅锭

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摘要

Fully-automated Heat Exchanger Method (HEM)/sup TM/ furnaces have been used to produce 58-cm square cross section, 200 kg multicrystalline silicon ingots with high uniformity in properties throughout the ingots. This processing combined with the upgrading potential of HEM will result in large-scale production at low cost.
机译:全自动换热器方法(HEM)/ sup TM /熔炉已被用于生产横截面为58平方厘米的200千克多晶硅锭,其整个锭的特性均很高。这种加工加上HEM的升级潜力将以低成本实现大规模生产。

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