accelerometers; micromechanical devices; cost reduction; industrial economics; globalisation; micromachined accelerometer; MEMS based accelerometer device production; production cost reduction; sensing technology;
机译:微机加工硅加速度计,带有压阻性SCR实施葡萄糖
机译:采用伪静电弹簧恒定,提高微机加速度计的分辨率
机译:用于微机械加速度传感器的高阶闭环Sigma Delta接口
机译:硅微机械谐振加速度计中驱动和检测电路的优化
机译:适用于测试修正牛顿动力学的微机械悬臂装置的设计
机译:一种使用微机加工薄膜压电谐振器的电池无线呼吸传感器
机译:用于微机械加速度计的离散和连续时间带通Σ-Δ调制器的动态水平设计