silicon; laser beam annealing; excimer lasers; contact resistance; semiconductor doping; elemental semiconductors; semiconductor junctions; doping profiles; excimer-laser dopant activation; high-energy excimer laser source; CMOS devices; ultra-shallo;
机译:二氧化硅基质中纳米晶硅中的脉冲KrF受激准分子激光掺杂剂活化
机译:准分子激光退火,固相结晶和连续波激光横向结晶形成的多晶硅薄膜缺陷的电化学和拉曼散射表征
机译:非熔融准分子激光退火在浅p + / n结形成过程中脉冲数对硅中掺杂物活化的影响
机译:硅中掺杂物的准分子激光活化-一种高能准分子激光源,可在整个芯片区域上进行单次喷射和均匀处理
机译:在准分子激光照射多晶硅膜中的2-D熔化
机译:对准分子激光眼科手术进行适当的检查。
机译:液硅和长脉冲准分子激光制造的单晶硅TFT
机译:用准分子激光诱导侧向生长形成薄膜晶体管的晶硅岛。