carbon compounds; copper; dielectric materials; integrated circuit interconnections; integrated circuit modelling; nanotechnology; oxygen compounds; permittivity; silicon compounds; 32 nm; 45 nm; Cu; ITRS; SiCOH; TEOS; air-bridge copper interconnects; air-gap configurati;
机译:SOFCs的(La_(0.8)Ca_(0.2))(Cr_(0.9)Co_(0.1))O_(3-δ)互连材料的B位掺杂Cu的导电行为和力学性能
机译:低k介电材料的机械性能控制,可减少Cu-Damascene互连中与化学机械抛光(CMP)相关的缺陷
机译:化学机械平面清洗后的刷洗摩擦对铜互连件上新型无孔低k介电氟碳化合物电学特性的影响
机译:空气桥Cu互连电气和力学性能模拟
机译:纳米级材料的机械和电性能的计算机模拟
机译:机械增强的石墨烯-铜复合材料减少了向互连应用的热膨胀
机译:18Cr铁晶不锈钢上的复合Cu-LafeO3晶体涂层IT-SOFC互连:长期空气暴露在700°C对CR扩散屏障和电气性能的影响
机译:Cu / Nb薄膜多层膜的残余应力,力学行为和电学性能