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Patterned gas absorbing films for assuring long-term reliability and improving performances of mems and omems

机译：图案化的气体吸收膜，可确保长期可靠性并改善内存和蛋卷的性能

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来源
《》|2005年|P.143-144|共2页
会议地点
作者
Longoni; G.; Moraja; M.; Amiotti; M.;
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原文格式 PDF
正文语种
中图分类工业技术;
关键词
入库时间 2022-08-26 14:10:33

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