ion sources; ion implantation; Auger electron spectra; ion-surface impact; ultra-shallow dopant depth profiling; low energy ion gun; sputter-etching; sub-nm depth resolution; atomic mixing; high current density; floating type ion guns; 500 eV;
机译:使用中能离子散射通过超浅As注入和尖峰退火产生的掺杂剂分布特征
机译:使用低能氮束的超浅砷植入物深度剖析
机译:使用飞行时间中子深度剖析(TOF-NDP)在超浅结装置中进行硼深度剖析
机译:用于超浅掺杂深度分析的新型低能量离子枪
机译:利用SIMS开发超浅掺杂植入物的高分辨率深度剖析。
机译:联合评估掠入射X射线荧光和X射线反射率数据以改善超浅深度分布的轮廓
机译:二次离子质谱法识别,仿真和避免仿真防深度分析中的伪影
机译:溅射引发的共振电离光谱:半导体中杂质和超浅掺杂分布的定量和灵敏测量的分析技术