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Deformable mirror display with continuous reflecting surface micromachined in silicon

机译：可变形镜面显示器，具有在硅中微加工的连续反射面

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来源
《》|1995年||共1页
会议地点
作者
Vdovin; G.; Middelhoek; S.;
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正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术;
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