Newport Corporation, 1791 Deere Avenue, Irvine, CA, 92606 USA;
scattering; thin films; coatings; DUV; microlithography;
机译:在包含ArF准分子激光气体混合物的小型放电室中在193 nm处进行激光增益测量
机译:非机械激光角膜脱敏术中用于穿透性角膜移植的“定向齿”:2.94微米Er:YAG v 193 nm ArF准分子激光。
机译:使用193nm ArF准分子激光器制造硅橡胶周期性微吸盘结构
机译:193nm光刻用ArF激光器的长脉冲操作前景
机译:开发用于产生高功率193 nm准分子激光短脉冲的分布式反馈染料激光器。
机译:193 nm ArF受激准分子激光在激光辅助等离子体增强SiNx的化学气相沉积中的作用以进行低温薄膜封装
机译:α-石英晶体和二氧化硅玻璃的发光在激光激发器(193nm),KRF(248nm)中的激发下
机译:用arF(193 nm)准分子激光脉冲激光沉积非晶类金刚石薄膜