Applied Materials, 3330 Scott Boulevard, M/S 0697, Santa Clara, CA 95054, USA;
marangoni dryer; single wafer clean; etch/ash; Cu/Low-k;
机译:Marangoni干燥机集成的高性能清洁剂,适用于45nm技术节点及以后的Cu /低kPost带材清洁
机译:Marangoni干燥机集成的高性能清洁剂,适用于45nm技术节点及以后的Cu /低kPost带材清洁
机译:Marangoni干燥机集成的高性能清洁剂,用于45nm工艺节点及以后的Cu / Low k柱后剥离清洗
机译:Marangoni烘干机集成高性能清洁剂,用于CU / LOW K POST TLAS清洁45nm技术节点及更远
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