Department of Mechanical Engineering, Technical University of Koszalin PL - 75 -620 Koszalin, Poland;
scatterometry; measurements of surface roughness;
机译:粗糙表面散射法中的反问题
机译:用光学散射法测量工程表面的形貌
机译:非高斯分布在高度上的表面粗糙度的原子力显微镜和X射线散射法比较研究
机译:机加工表面的散射仪
机译:研究单点金刚石加工表面的光学效果以及微加工的应用。
机译:自由曲面慢刀伺服超精密加工中表面形貌产生的理论和实验研究
机译:使用散射仪对大面积亚μm结构聚合物表面的复制保真度评估。